干式真空泵的非常廣泛，五種形式都與它有一定的關系，不知道你們對這五種形式了解多少，不了解也沒關系，本文就介紹這五種形式的知識給大家。

　　一、雙圓裂片式。

　　雙圓裂片式多級結構使氣路結構更加復雜，每一級都需要流量較大的氮作為稀釋和隔離劑。與此同時，為了獲得良好的真空度，對各個級別的間隙要求都很嚴格。這一設計當然是因為增加了內部壓縮比，所以能耗相對較低。

　　二、三片圓裂片式。

　　三圓裂片式設計與上述形式設計的原理相同，只是將氣體分成三份，只需旋轉一圈，而不像雙圓裂片式分成兩份。為進一步降低電力消耗，在傳動部分有些廠家選擇了兩臺直流電機，但是這也會導致轉矩降低，重啟能力下降。

　　三、組合形式(羅茨+爪子)

　　組合(羅茨+爪子)設計采用羅茨提高低壓抽氣效率，而采用爪子提高高壓抽氣效率。原理和氣路與前面介紹的圓裂片設計相同。又有一些廠家把它的最后一級改為了星型設計，這樣可以在一圈旋轉中把氣體分成五份，就像三圓片的設計可以把它分成三份。

　　四、外部壓縮型螺桿式

　　外接壓縮式螺紋設計，采用一對等間距螺紋。這樣可以將內部壓縮降至最低，同時使氣體的路徑最短，也最簡單。通過這種方式，氣體在泵內停留時間也最短。這種設計在復雜的半導體工藝中顯示了很好的穩(wěn)定性。

　　五、內部壓縮型螺桿式

　　不斷減少螺桿之間的體積使螺桿內部產(chǎn)生壓縮。許多生產(chǎn)過程中，這種內部壓縮類似于多級泵，很容易導致氣體在泵內發(fā)生物理和化學變化，從而產(chǎn)生固化或液化。

　　在以上介紹中，我們了解了干式真空泵的五種形式，在以后的使用過程中，我們可以根據(jù)自己的需要進行選擇。